化学法制备的HfO_2薄膜的激光损伤阈值研究

化学法制备的HfO_2薄膜的激光损伤阈值研究
   


【英文篇名】 Laser-induced damage threshold of hafnia thin films with chemical method
. B/ K# x' B4 X- n2 s$ c【作者中文名】 沈军; 罗爱云; 吴广明; 林雪晶; 谢志勇; 吴晓娴; 刘春泽;
4 O3 f6 j- L! A2 \4 Q7 [! l【作者英文名】 SHEN Jun; LUO Ai-yun; WU Guang-ming; LIN Xue-jing; XIE Zhi-yong; WU Xiao-xian; LIU Chun-ze （Pohl Institute of Solid States Physics; Tongji University; Shanghai 200092; China）;
) N8 [3 F. _* }【作者单位】 同济大学波耳固体物理研究所; 同济大学波耳固体物理研究所 上海;
【文献出处】 强激光与粒子束, High Power Laser and Particle Beams, 编辑部邮箱 2007年 03期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
" |3 k8 G! u* p8 }' q/ s1 a& j+ m【关键词】 HfO2薄膜; 热处理; 紫外辐照; HfO2-Al2O3复合薄膜; 激光损伤阈值;
【英文关键词】 HfO2 thin films; Heat treatment; UV irradiation; HfO2-Al2O3 composite films; Laser-induced damage threshold;
【摘要】 采用化学法制备了HfO2介质膜,研究了热处理、紫外辐照以及Al2O3复合对HfO2介质膜激光损伤阈值的影响。采用红外光谱(FTIR)和X射线衍射仪对薄膜进行了表征,并用输出波长为1.064μm、脉宽为10 ns的电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值。实验结果表明:采用150℃左右的温度对薄膜进行热处理可以提高薄膜的激光损伤阈值,所获得的薄膜的激光损伤阈值高达42.32 J/cm2,比热处理前的激光损伤阈值提高了82%;无机材料Al2O3的适量添加能够提高薄膜的激光损伤阈值,其中HfO2与Al2O3的最佳质量配比约为95∶5;另外,对薄膜进行适当的紫外辐照也可改善HfO2薄膜以及HfO2-Al2O3复合薄膜的抗激光损伤性能。紫外辐照对提高HfO2-Al2O3复合薄膜的激光损伤阈值效果尤为显著,辐照40 min后的激光损伤阈值达到44.33 J/cm2,比紫外辐照前的激光损伤阈值提高了90%。
【英文摘要】 HfO2 thin films were prepared with chemical method.The influences of heat treatment,UV irradiation and addition of inorganic Al2O3 on laser-induced damage thresholds(LIDT) of HfO2 thin films were studied.HfO2 thin films were characterized by FTIR and X-ray diffraction.And 1-on-1 laser-induced damage threshold tests on HfO2 thin films and HfO2-Al2O3 composite films were carried out with a Q-switched Nd:YAG high power laser at 1 064 nm with a pulse width of 10 ns.The research results showed that the LIDT of t...
【基金】 国家自然科学基金重点资助课题(21033040);; 国家863计划项目资助课题(2002AA84052);; 上海科委纳米专项资助课题(0552nm08);; 教育部跨世纪优秀人才计划资助课题;; 上海市重点学科建设资助课题(02SL001);; 上海市科技攻关计划资助课题(055211010)
5 L& f7 l2 i- Q1 B/ ]1 s% x【DOI】 CNKI:ISSN:1001-4322.0.2007-03-012

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