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薄膜测厚仪

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发表于 2007-11-15 14:43:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
科美仪器(昆山)研发有限公司是韩国科美公司在中国设立的分公司. 6 [- r9 Z/ Q7 Y3 e
1996年以来,科美在半导体,平板显示器,电子物质,生命科学和化学分析上,研发和提供了独特的,先进的解决方案。科美,作为测量和分析技术市场上的领头和动力,从它创立以来,已经取得了非凡的发展,并以它突出的表现得到了世界范围的认可。科美一直设法关注客户的需求。我们不仅仅为我们的客户提供最好的产品和服务,我们还听取他们的意见,对他们目前的、未来预计的需求作出最快的答复。为了跟上新的挑战和机会,科美潜心研究和发展。我相信这是我们公司可以在光学核心成分, MEMS和其他许多分析设备上快速发展并不断进步的潜在动力。在我们生产研发的每一项产品上,科美努力通过显著的特色,较高的规格尤其是卓越的质量和技术来争取领先的位置。科美将不断努力为这一行业提供更多完整的测量和分析解决方案。   
6 n4 G4 I& ~- r6 H+ H    感谢所有的客户、伙伴和供应商在过去的时间里对我们的支持,使我们取得成功。
2 s5 ^2 X/ T* m: Y% @( e  T    详情可以登陆我们的网站,也可以来电和来邮咨询.
1 B2 F, v, B! W% Z  9 q6 m( |" z  k$ N: a9 O
联系人:冯先生  
0 ?  Q9 W7 W) f/ G, G6 Y电  话:0512-57170842 2 z; R' g$ A) t% p0 V/ q# c. u
传  真:0512-57176331 * }6 U$ e6 Y" g+ V, z6 f
E-mail:flei1982@cn.kmac.to9 l1 [# N! v! {
网  址:www.cn.kmac.to
$ g) m1 k# u' K5 B- Y6 o$ S: L地  址:昆山市樾河北路488号

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 楼主| 发表于 2007-11-15 14:46:01 | 显示全部楼层
光学薄膜测厚仪(膜厚仪) (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明
" F) @( `2 A4 M* jSpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量的膜厚仪,无需样品的前处理,软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer,glass等substrates上形成的氧化膜,氮化膜,Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器(膜厚仪)。 $ }* M* H6 k) y/ D! t/ R, p
测量原理如下:在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光,这时光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。 $ h- R: I0 b) F' q  I' o7 j
仪器的光源使用Tungsten Lamp,波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理,测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一,有image processs功能,是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm,远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到,使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。 ! @3 F: T1 M) v" l
K-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板,铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率,玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻,接触角度 (Contact Angle) 等的功能。
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 楼主| 发表于 2007-11-27 18:12:46 | 显示全部楼层
自己来顶下!
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发表于 2007-12-14 18:29:04 | 显示全部楼层
您好,我需要一台,请给我资料和报价,谢谢!我的电话:13865680899
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 楼主| 发表于 2007-12-20 14:43:49 | 显示全部楼层
打你电话关机,能联系我吗?9 E2 [. Y) c  R
留个邮箱我给你发资料!
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发表于 2009-4-30 13:20:51 | 显示全部楼层
广告啊?不过还是顶下
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发表于 2009-6-13 13:01:25 | 显示全部楼层

不错

值得顶一下
2 P6 Q! E1 a4 B1 H* E
. \" i6 V0 c& V" O) J1 K% O6 N不错
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 楼主| 发表于 2009-6-24 15:38:33 | 显示全部楼层
谢谢帮顶!
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