ZrO2／SiO2棱镜偏振膜的膜系优化设计与制备

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ZrO2／SiO2棱镜偏振膜的膜系优化设计与制备
沈自才 孔伟金 宋永香 汤兆胜 范正修中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800摘　要:对以K9玻璃为基底，采用ZrO2和SiO2为高低膜料来制备棱镜偏振膜，并进行膜系优化设计。设计指标为：波长540nm处满足Tp>99％，Ts<1％。优化结果表明，膜系以H3L(HL)^13 H3LH为最佳膜系。测试结果表明，此膜系完全满足设计指标，偏振性能优良。探讨了参考波长对偏振膜工作带宽的影响。

关键词:棱镜 偏振膜 优化 带宽
! k5 \% x  A* e: x& v分类号:　O484.4文献标识码：文章编号：栏目信息：材料和元件
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