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[求助] 用非磁控溅射镀黑膜耐摩擦怎提高?

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发表于 2007-11-9 08:16:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
我现在用非磁控溅射机镀黑膜,黑度够了,但耐摩擦只能过100次,客户要求1000次以上,我用的是对靶,用钛和铬靶,多50分钟左右,请问用怎样的方法才能提高啊,那位大侠能帮帮我啊,多谢了!
发表于 2006-1-6 13:41:53 | 显示全部楼层
增加离子源辅助镀膜了
 楼主| 发表于 2007-11-15 08:42:40 | 显示全部楼层
其他方面有吗
发表于 2008-4-1 08:34:14 | 显示全部楼层
镀DLC膜就可以了,用石墨靶
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