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各位大侠们:* r+ N) p |2 \$ a* T6 h- j! Z
小弟用磁控溅射在镀多层膜(40层)时,开始几层镀的没有问题,镀到第十几层,电源冷却水报警,不能放电,电压加不上去。能想到的办法都已经想到了:
1 [/ H/ t- v) h5 O( A* b$ |1、清洁真空腔,换内壁衬板;1 u7 }, B# s! H
2、调节靶材与挡板之间的距离;; {5 t9 B8 Y& n- S
3、增加和调节冷却水水压。
: ^0 n1 P, Y$ F1 V7 i' l" F) m不知道那个前辈遇到过这种问题啊,救救小弟啊 |
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