电子束离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响.pdf

zgc910705 · 发表于 2007-10-28 07:43:57

运用电子束运用电子束、离子辅助和离子束溅射三种镀膜工艺分别制备光学薄膜、离子辅助和离子束溅射三种镀膜工艺分别制备光学薄膜 ,,包括单层氧化物薄膜和包括单层氧化物薄膜和增透膜增透膜然后采取一系列测试手段然后采取一系列测试手段如轮廓仪、原子力显微镜表面热透镜技术和轮廓仪、原子力显微镜、表面热透镜技术和射线衍射等技术射线衍射等技术来分来分析和研究不同的工艺对这些薄膜性能的不同影响析和研究不同的工艺对这些薄膜性能的不同影响以判断合理的沉积工艺。以判断合理的沉积工艺。
　

111220013 · 发表于 2006-1-6 13:41:53

學習，支持！！！

kwl · 发表于 2008-4-7 23:12:05

ok!!!!!!!支持

kwl · 发表于 2008-4-7 23:13:35

好!OK....顶

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