紧急求助：真空室打火

jjkkll · 发表于 2007-10-24 10:24:56

ZZS700-6/G箱式真空镀膜机

应该是接电子枪灯丝电极的地方打火，套电极的2个金属圆筒都打黑了。

加灯丝电流，扫描电流，高压之后，就听的到真空室里面彭彭彭的打火，怕怕。

把电极引出来的铜丝加了绝缘磁套，铜丝应该没有和外面的金属筒接触（铜丝之间也没接触），但是打火依旧。

小弟实在不知道是怎么回事。流着眼泪向各位大大求救

九门 · 发表于 2006-1-6 13:41:53

更换高压电极

jiaotao3289 · 发表于 2005-12-29 21:07:58

我的机器也有这方面的问题,那位大哥知道帮帮小弟,谢谢!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

lw10145906 · 发表于 2008-1-11 05:44:10

电极老化，去下后用砂纸打磨！！！OK

jlgdkj · 发表于 2008-1-15 21:33:55

多半是电子枪, 绝缘引线绝缘性能不好这两个部位工作一段时间后要清理

wwwooo5 · 发表于 2008-2-2 08:54:02

把里面的绝缘部件，集电极都清洗一遍

r58001105 · 发表于 2008-11-8 00:03:37

絕緣異常,行程導通

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