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[求助] 磁控溅射设备结构图

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发表于 2007-10-14 15:38:29 | 显示全部楼层 |阅读模式

请问谁有现行常用磁控溅射机的结构图，推荐下啊，要各种型号的，做个对比。

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积分: 851

发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层

磁控溅射设备结构图

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积分: 433

发表于 2005-12-29 13:07:58 | 显示全部楼层

给份资料吧。

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