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光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 紧急求救：磁控溅射的高频电源

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[求助] 紧急求救：磁控溅射的高频电源

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积分: 362

发表于 2007-10-9 16:29:42 | 显示全部楼层 |阅读模式

磁控溅射的高频电源的频率不对了会出现什么问题，调试电源频率时要注意些什么问题。
紧急求救！！！机器动不了了，恳请各位朋友帮忙！！！谢谢了！！！！

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积分: 23

发表于 2013-9-10 03:14:39 | 显示全部楼层

我也和你一样问题啊。头大

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