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棱镜耦合仪测量薄膜参数的注意事项

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发表于 2007-10-8 02:38:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
我在玻璃上制备了一层薄膜材料(玻璃衬底的折射率比薄膜的高),寄到外单位请求用棱镜耦合仪测量该薄膜的折射率和厚度。
' T6 ?/ s( i+ @  v2 A6 A; Z' V, X1 p: ~3 H( {' H& p* X$ ]6 q7 }
但是样品被退回,说不能测,理由是薄膜形貌不好,厚度不够。7 |' N3 h+ L3 S8 H7 X) [1 m5 B! v

' m: W& r; [6 v6 j8 @% w但是我认为是因为没有制备成波导的缘故,也就是说(玻璃)衬底的折射率应比薄膜的低。模式本征方程也支持这一点。
) f3 w( i' B6 N' {% B# q9 U而我的同事都认为不是这个原因,不需要制备成波导结构。0 y6 P) ^: c5 c  c, E& y
, z: Q- {& G' e( f1 Y
在这里,想请教下有使用过、或者熟悉棱镜耦合仪的大虾们,使用棱镜耦合仪测量薄膜折射率和厚度,是否需要将衬底材料的折射率小于待测薄膜材料的折射率?
0 v- P9 k3 i! c2 E谢谢咯~!

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851
发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层
不知道,但也顶以下!!希望能者能帮忙解答
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