厚度限制！

shusen100 · 发表于 2007-9-30 05:35:26

请问一下，在优化的时候厚度限制的最小值和最大值一般取多少啊？这个和实际生产是有关系的吧，实际工艺中最小可以镀多薄的膜呀？

jhxxmlhk · 发表于 2006-1-6 13:41:53

那个限制膜厚的功能没有很大用处,最小膜厚看你什么镀膜

jhxxmlhk · 发表于 2005-12-29 21:07:58

看设备的精度了.最好大于0.1qwot

jhxxmlhk · 发表于 2007-10-4 00:04:45

光控和晶控不同,要有使用经验才知道,这里不方便详细论述.

shusen100 · 发表于 2007-10-13 11:34:16

谢谢你们的回复，是觉得那个厚度限制没有什么用，老是超出设置的范围，不知道是不是设置错了。还有优化时的那个总厚度，每次都超出范围了。有高手指点一下吗？

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