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[求助] 求助640nm~900nm,R<0.8%,K9基片怎么设计啊?

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261
发表于 2007-9-28 00:56:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
要求在640nm~900nm,R&lt;0.8%怎么镀啊3 d8 E7 q4 N, r$ p5 Z2 j
% \1 j* g4 S* r/ j! _! J$ G( |
谢谢!
gds 该用户已被删除
发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层
TIO2      16.64
7 R+ w5 b1 l# y8 L. eSIO2      52.90- H! m! w3 j! k5 e3 N$ |$ C
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6 @' Y1 e" m& L& FSIO2     110.53
1 U( }4 t, T( OTIO2      68.43
8 h- g5 P1 g$ Z# }. A" _SIO2      40.901 d& b% q4 l3 p; K! k; C3 {$ E
TIO2      37.38
2 i4 b; Z6 R" M; c+ pSIO2     156.480 k8 H) u& V: r
TIO2      35.06" y5 g. R  K1 E9 h. d  y
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TIO2      89.33! F! K5 P$ D# a+ G1 ?5 B
SIO2     128.84

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 楼主| 发表于 2007-9-29 01:11:18 | 显示全部楼层
谢谢gds,我知道了!; ~) D' u+ q  ]
非常感谢你的热心!
; Y0 f/ w6 c4 \1 b" M由衷敬佩你的业务水平!! y, s3 e( v2 Q0 O' g& ~% e
向你学习!
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430
发表于 2007-11-1 03:26:59 | 显示全部楼层
需要这麽多层吗
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发表于 2007-11-1 05:32:00 | 显示全部楼层
bu haoya na me duo ceng
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发表于 2008-1-6 21:38:06 | 显示全部楼层
三层的应该是这样的吧

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gds 该用户已被删除
发表于 2008-1-7 02:33:27 | 显示全部楼层
3层需要加温,工艺不好控制
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发表于 2008-1-13 20:08:41 | 显示全部楼层
加温没有困难啊 270就可以 工艺到还可以 比较好控制 (光控)
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发表于 2008-12-12 02:09:09 | 显示全部楼层
用3层膜足可以做好
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发表于 2008-12-12 23:10:37 | 显示全部楼层
最多只要三层,用氧化铝,氧化锆钛,氟化镁,2【M2HL].控制波长在400纳米左右。基底温度在250左右。氧原子充2.8X10-2.这还用问啊?
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