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[求助] 求助640nm~900nm,R<0.8%,K9基片怎么设计啊?

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发表于 2007-9-28 08:56:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
要求在640nm~900nm,R&lt;0.8%怎么镀啊
. a0 M9 Z! B3 q( }, v/ v, ?* f, N# q+ I
谢谢!
gds 该用户已被删除
发表于 2006-1-6 13:41:53 | 显示全部楼层
TIO2      16.64$ D% [1 Q# m8 w& |6 U- |
SIO2      52.90
1 R( `8 y+ h* B' K+ RTIO2     170.01
. v2 _* l% ]+ _( c2 I/ gSIO2     155.59
5 Z# n6 C% A$ J2 N8 @* n: ]SIO2     110.53) g8 I( b- j; [4 i: l
TIO2      68.433 n2 S) a3 H: S8 _
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3 h% Q. P, M+ L4 nTIO2      89.33
4 T/ _' I# d7 z% U7 C' \0 j* u+ ~' Z7 NSIO2     128.84

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 楼主| 发表于 2007-9-29 09:11:18 | 显示全部楼层
谢谢gds,我知道了!0 ], k1 D; h* Z/ D' b, D0 N2 s
非常感谢你的热心!
3 N1 D. ^/ k( m) k5 \- n由衷敬佩你的业务水平!& d5 s3 O# m3 H5 V$ ]
向你学习!
发表于 2007-11-1 11:26:59 | 显示全部楼层
需要这麽多层吗
发表于 2007-11-1 13:32:00 | 显示全部楼层
bu haoya na me duo ceng
发表于 2008-1-7 05:38:06 | 显示全部楼层
三层的应该是这样的吧

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gds 该用户已被删除
发表于 2008-1-7 10:33:27 | 显示全部楼层
3层需要加温,工艺不好控制
发表于 2008-1-14 04:08:41 | 显示全部楼层
加温没有困难啊 270就可以 工艺到还可以 比较好控制 (光控)
发表于 2008-12-12 10:09:09 | 显示全部楼层
用3层膜足可以做好
发表于 2008-12-13 07:10:37 | 显示全部楼层
最多只要三层,用氧化铝,氧化锆钛,氟化镁,2【M2HL].控制波长在400纳米左右。基底温度在250左右。氧原子充2.8X10-2.这还用问啊?
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