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[求助] 求助640nm~900nm,R<0.8%,K9基片怎么设计啊?

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261
发表于 2007-9-28 00:56:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
要求在640nm~900nm,R&lt;0.8%怎么镀啊
8 m+ T4 Y% \4 W  Y  A: y" l2 ~" W' X- ]! U) ]8 l
谢谢!
gds 该用户已被删除
发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层
TIO2      16.64# `! ~7 o# i# u3 E8 ]
SIO2      52.90
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5 J- l( p8 u+ {1 @/ L. ^SIO2     110.53
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  i- J* T, F: h3 b- O+ G9 F- Z1 SSIO2     128.84

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 楼主| 发表于 2007-9-29 01:11:18 | 显示全部楼层
谢谢gds,我知道了!: I" m0 h& o* ?
非常感谢你的热心!
7 k) i  A& N# a由衷敬佩你的业务水平!. S  m/ T- ?! `* M, e7 I0 L6 v
向你学习!
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430
发表于 2007-11-1 03:26:59 | 显示全部楼层
需要这麽多层吗
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发表于 2007-11-1 05:32:00 | 显示全部楼层
bu haoya na me duo ceng
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发表于 2008-1-6 21:38:06 | 显示全部楼层
三层的应该是这样的吧

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gds 该用户已被删除
发表于 2008-1-7 02:33:27 | 显示全部楼层
3层需要加温,工艺不好控制
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发表于 2008-1-13 20:08:41 | 显示全部楼层
加温没有困难啊 270就可以 工艺到还可以 比较好控制 (光控)
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404
发表于 2008-12-12 02:09:09 | 显示全部楼层
用3层膜足可以做好
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327
发表于 2008-12-12 23:10:37 | 显示全部楼层
最多只要三层,用氧化铝,氧化锆钛,氟化镁,2【M2HL].控制波长在400纳米左右。基底温度在250左右。氧原子充2.8X10-2.这还用问啊?
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