设为首页收藏本站

开启辅助访问切换到宽版

光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜设备 › 有关高介电常数的问题！

本站邀请注册说明！

发新帖

查看: 1937|回复: 2

[求助] 有关高介电常数的问题！

发表于 2007-9-14 22:38:33 | 显示全部楼层 |阅读模式

请问各位大虾：做高介电常数薄膜材料用什么源气体？我用的是PECVD设备。

回复

使用道具举报

发表于 2006-1-6 13:41:53 | 显示全部楼层

等待中，楼主现在主要做什么呀？

回复支持反对

使用道具举报

发表于 2005-12-29 21:07:58 | 显示全部楼层

eeeeeeeeeeeeeeee

回复支持反对

使用道具举报

发新帖

本站邀请注册说明！

小黑屋|手机版|Archiver|光学薄膜信息网

GMT+8, 2024-5-21 12:33 , Processed in 0.029342 second(s), 18 queries .

Powered by Discuz! X3.4 Licensed

Copyright © 2001-2021, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表