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光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜设备 › 有关高介电常数的问题！

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有关高介电常数的问题！

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发表于 2007-9-14 14:38:33 | 显示全部楼层 |阅读模式

请问各位大虾：做高介电常数薄膜材料用什么源气体？我用的是PECVD设备。

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积分: 1781

发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层

等待中，楼主现在主要做什么呀？

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积分: 362

发表于 2005-12-29 13:07:58 | 显示全部楼层

eeeeeeeeeeeeeeee

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