请教：磁控溅射镀出的膜表面存在很多亮点

awoo · 发表于 2007-8-24 14:49:04

哪位前辈知道磁控溅射镀出的膜表面存在很多的亮点(对着强光看)，能否系统的帮我分析一下，小弟在这里谢过了。

awoo · 发表于 2007-8-29 21:40:49

怎么没有人回复啊！自己顶起来。

显示全部楼层 · 发表于 2005-12-29 13:07:58

是不是电压或速度太快了,膜料发生飞溅

cheng003 · 发表于 2007-8-31 04:44:12

应该是机台内环境太差，靶的灭护罩太脏，可以换灭护罩或

awoo · 发表于 2007-9-1 01:57:20

多谢指教！

rainbow · 发表于 2007-9-5 12:34:54

是不是靶的功率太大呀？

fgu01 · 发表于 2007-10-3 14:59:24

电子枪的出力问题。还有是否在表面存在，膜层中是否存在。镀膜室环境不好。

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