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[分享] 类金刚石薄膜的激光损伤特性测试与分析 |
[/free]摘要 使用脉宽12ns,波长1064nm调QNd:YAG激光器对真空阴极电弧沉积(VCAD)法制备的类金刚石薄膜进行抗激光
损伤测试,结果表明,VCAD法镀制的薄膜抗激光损伤阈值为0.6J/cm2。通过对热冲击效应的数值计算,得到了光斑中心的温 度场和薄膜表面的应力场分布。研究表明,热应力在类金刚石薄膜的破坏过程中起主导作用,脉冲电弧沉积的DLC薄膜的激 光损伤主要源于应力破坏。关 键词 类金刚石膜 真空阴极电弧沉积 激光损伤[free]
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发表于 2009-3-25 04:12:01
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