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[求助] 请斑竹和朋友帮忙解决个问题谢谢了

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发表于 2007-8-15 03:33:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
有关于提高吸收方面的资料么?我做的是磁控溅射Al-N/Al膜层需要高吸收低发射。谁能帮我啊给我发邮件yongzhicai@163.com
$ F2 s% C; Q6 t& h4 o在这里谢谢了
8 Z; c" m- K9 d9 l# l6 L' b
发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层
先抢个沙发  啊哈哈
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发表于 2005-12-29 13:07:58 | 显示全部楼层
直流反应磁控溅射Al,N共掺方法生长p型ZnO薄膜及其特性袁国栋 叶志镇 曾昱嘉 吕建国 钱庆 黄靖云 赵炳辉 朱丽萍浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州310027摘 要:报道了利用直流反应磁控溅射以Al,N共掺杂技术生长p型ZnO薄膜.ZnO薄膜在不同衬底温度下沉积于a-Al2O3(0001)衬底上,N来自NH3与O2的生长气氛,Al来自ZnxAl1-x(x=0.9)靶材.利用XRD,AFM,Hall,SIMS和透射光谱对其性能进行了研究.结果表明,ZnO薄膜具有高度c轴择优取向,450℃、600℃分别实现了p型转变,电阻率为10^2~10^3Ω·cm,载流子浓度为10^15~10^16cm^-3,迁移率为0.5~1.32cm^2/(V·s).薄膜中Al原子促进了N原子的掺入.实验还表明,p-ZnO薄膜在可见光区域具有很高的透射率(约为90%),室温下光学带宽为3.28eV.而在450℃生长的p-ZnO具有较小的晶粒度和表面粗糙度.1 |/ q3 M8 E. _; _, B

+ g9 {) p1 m* G) _9 ]9 w, R2 m: t3 Y关键词:Al,N共掺杂技术 p-ZnO 直流反应磁控溅射9 ^7 l2 I! n7 K) s( {
分类号: TN304.21文献标识码:文章编号:栏目信息:研究论文/ ^6 {3 \* @6 Q4 r1 u. G1 r
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发表于 2007-8-15 05:19:29 | 显示全部楼层
MgO衬底NbN/AlN/NbN多层膜的制备
( H- {$ e- A8 y; o) O" k3 L施建荣 康琳 蔡卫星 陈亚军 吉争鸣 吴培亨南京大学超导电子学实验室,南京210093摘 要:本文主要讨论磁控溅射设备制备的NbN/AlN/NbN三层结构的技术工艺,为制备All-NbN的NbN/AlN/NbNSIS隧道结作准备,我们在室温下利用直流磁控溅射工艺制备了单晶NbN薄膜,并对其超导电性做了初步的研究;又利用射频磁控溅射工艺制备了取向较好的AlN薄膜,我们利用磁控溅射方法制作NbN/AlN/NbN多层薄膜,然后对制备SIS隧道结进行了一些探索。
2 W( v- }! V# K2 z( P, g8 j' h4 _$ @, {
关键词:氧化镁衬底 氮化铌/氮化铝/氮化铌多层膜 磁控溅射 SIS隧道结 射频磁控溅射 超导薄膜
. a4 l8 s+ m3 p* u2 h. s) n$ w: T分类号: O484.1 TM262文献标识码:文章编号:栏目信息:
0 N6 O+ c2 j+ {( X5 |/ b相关文献:主题相关

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 楼主| 发表于 2007-8-23 16:32:57 | 显示全部楼层
我做的是磁控溅射用直流电源充AR电离溅射纯铝,在充入氮气溅射获得ALN,在溅射过程中ALN的组分对吸收和发射的影响关系是怎么样的?膜厚对吸收和发射的关系?膜层结构AL/ALN1/ALN2/LAN3.       AL底层2-3为吸收层4为减反层
" |1 ]/ g) S- ?# f2 i& a  f谁有资料帮帮我谢谢了
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 楼主| 发表于 2007-8-23 16:35:17 | 显示全部楼层
关键的是要好的吸收和低的发射
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发表于 2009-12-25 17:35:18 | 显示全部楼层
关键的是要好的吸收和低的发射
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发表于 2013-11-8 17:31:28 | 显示全部楼层
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