[原创] 电子束反应蒸发氧化物薄膜的应力特性

[/free]电子束反应蒸发氧化物薄膜的应力特性熊胜明[1] 唐晋发[2] 等[1]中国科学院光电技术研究所，四川成都610209 [2]浙江大学摘　要:研究了反应电子束蒸发氧化物光学薄膜在空气中的应力。为了找到能减小多层膜结构内应力的淀积工艺参数，测试了氧化物膜层TiO2,Ta2O5,SiO2,Al2O3,HfO2的应力，发现有些膜层为压应力，一些高折射率膜为张应力。实验表明，热处理可以有效地降低氧化物膜层光学吸收，并改变应力。

关键词:光学薄膜 热处理 电子束蒸发 氧化物 应力特性
分类号:　O484.4文献标识码：文章编号：栏目信息：
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