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[原创] Characterization of graded refractive index siliconoxynitride thin films

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发表于 2007-8-3 02:45:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
Characterization of graded refractive index siliconoxynitride thin films by spectroscopic ellipsometry7 U6 G3 g' R: P) E+ I
S.Callard,A.Gagnaire,J.Joseph

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