磁控溅射在玻璃上镀TIO2的问题

ruanyique · 发表于 2007-8-1 15:50:16

请教各位大侠：
我在镀TIO2时，为什么沉积速率提不起来呢？

quentin · 发表于 2006-1-6 05:41:53

是不是温度不够啊

2480404 · 发表于 2005-12-29 13:07:58

有可能

cheng003 · 发表于 2007-8-14 03:10:40

是蒸发镀还是溅射镀

chb0320 · 发表于 2008-4-17 15:15:45

是采用反应溅射吧？
那你有没有装离子监控设备控制反应？
最大的可能是氧气配比不对

hill1121 · 发表于 2008-4-24 20:39:35

肯定是靶中毒了呗

whzg · 发表于 2008-4-25 12:26:12

氧气多了

13711595111 · 发表于 2008-10-24 14:38:30

你指的起不来是多少?

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