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发表于 2006-1-6 13:41:53
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离子源系统的作用就是将中性原子或分子转换成具有一定能量和一定形状的正或负的聚焦良好的离子束。根据被分析物质的状态,它的物理化学性质,选择合适的电离方式。并随着电离方式的不同(例如:电子轰击、离子轰击、场致电离、光致电离、化学电离等),配置必要的组件,组成相应的离子源系统。在离子源电离区域形成的离子,经离子源透镜公聚成品质良好的、合乎需要的离子束。整个离子源的由中性原子或分子到离子的转换效率,取决于离子源的电离效率和离子光学系统的离子传输效率。这对那些要求实现高灵敏度质谱分析的课题,是十分重要的。
6 Z/ T0 ?' Z7 b8 X7 S4 C霍尔离子源主要作用:
# A8 ?5 z7 B' ~, `% C7 J! ] F5 T1 x4 Y; x6 _( j
1。工件镀膜前离子清洗;
; `& s7 g. \; X; x9 r, e b2。辅助镀膜,有效降低膜层内应力,提高致密性,细化膜的晶体,提高结合力┉; - A$ i$ y W9 v) e5 Q
3。膜层改性:改变光学特性和晶体结构┉;
1 Q8 z# h# ?; F' M z: [8 c
. ?3 O# C' [" f" t- a9 K霍尔离子源主要优点:
9 W( g9 h5 ]6 g3 B1 j8 m! |; o* w# @1。新一代控制电源,体积小,稳定性高;
( H& P+ i1 I( ?$ T2。双灯丝,当一根灯丝在工作过程突然烧断,可以手动或自动切换至另外一根灯丝继续工作,确保镀膜过程不被中断; ! W( P$ N9 p' s) d2 v; g
3。系列齐全,适合从直径为400mm到1600mm的镀膜机使用 |
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