高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统

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高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统冯毓材[1] 江建国[2][1]北京东方安泰克高技术有限公司，北京100101 [2]北京光电技术研究所，北京100010摘　要:介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统。并对该系统的特点，性能和应用结果作了叙述。

- b1 f( I. Y1 B' s, `. L关键词:无栅霍尔离子源 离子束辅助沉积 光学薄膜 制备
8 f7 r# x! m, p# A' m6 E$ b分类号:　O484.41 TB43文献标识码：文章编号：栏目信息：
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