高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统

xx_912

高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统冯毓材[1] 江建国[2][1]北京东方安泰克高技术有限公司，北京100101 [2]北京光电技术研究所，北京100010摘　要:介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统。并对该系统的特点，性能和应用结果作了叙述。

6 C1 q% ~  U2 V( M0 U! e1 g1 ~关键词:无栅霍尔离子源 离子束辅助沉积 光学薄膜 制备
分类号:　O484.41 TB43文献标识码：文章编号：栏目信息：
& s+ L1 H9 Z) j* C相关文献:主题相关

黑子

面市了?

jiayuch

学习一下