高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统

xx_912 · 发表于 2007-7-26 01:26:50

高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统冯毓材[1] 江建国[2][1]北京东方安泰克高技术有限公司，北京100101 [2]北京光电技术研究所，北京100010摘　要:介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统。并对该系统的特点，性能和应用结果作了叙述。

关键词:无栅霍尔离子源离子束辅助沉积光学薄膜制备
分类号:　O484.41 TB43文献标识码：文章编号：栏目信息：
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黑子 · 发表于 2006-1-6 05:41:53

面市了?

jiayuch · 发表于 2005-12-29 13:07:58

学习一下

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高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统

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