鲁棒性多腔窄带滤光片的自动优化设计

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鲁棒性多腔窄带滤光片的自动优化设计杨明红[1] 陈清明[2] 等[1]华中科技大学激光技术国家重点实验室 [2]武汉金石凯激光技术有限公司摘　要:将膜系容差纳入评价函数，提出了多腔窄带激光片鲁棒性设计的概念和方法。阐述了理论分析的依据，在修改的程序基础上得出一组优化设计的膜系。结果表明这种方法得到的膜系不一定是最优的理论解，但一定是最优的实际解。膜厚灵敏度因子计算结果表明，鲁棒性膜系较其他膜系的敏感度因子要低，从而验证鲁棒设计结果的正确性。
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) n1 d. l5 b, U9 Y& U. P3 ^关键词:鲁棒性 多腔窄带滤光片 自动优化设计 光学薄膜 膜系容差 评价函数 厚度灵敏度因子
8 J, H% h0 u% ^: e分类号:　O484.41文献标识码：文章编号：栏目信息：
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