TiO2用反应溅射方法的工艺条件

roczhong · 发表于 2007-7-19 03:44:42

各位知道TiO2用反应溅射方法的工艺条件吗?我镀的时候怎么速率很低呀?

xujun456 · 发表于 2007-7-22 23:22:00

加大反应速率，途径很多。比如反应物质增加！
同时降低偏压

7777953 · 发表于 2005-12-29 21:07:58

正常来讲TiO2的蒸发速率的确很低

英雄镀膜 · 发表于 2009-12-25 12:24:28

速率大概2a/s

livechen · 发表于 2010-8-21 00:04:20

学习学习下

ymh7412 · 发表于 2010-8-21 07:46:20

好不好呢的

zhaiyuto · 发表于 2010-9-9 05:48:54

好东西要经常发啊

475839652 · 发表于 2011-5-3 20:37:35

学习下

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