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[求助] 哪位能告诉我Al2O3,ZrO2,TiO2膜是压应力还是张应力？

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发表于 2007-7-7 21:22:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

哪位能告诉我Al2O3,ZrO2,TiO2膜是压应力还是张应力？

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gds 该用户已被删除

发表于 2007-7-7 21:29:57 | 显示全部楼层

不一定的，应力与沉积方式，沉积条件关系很大，有时候随沉积条件变化，应力从压－张，或者相反

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