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高折射率光学薄膜的化学法制备研究
o$ g1 X# E& L. i& x 英文标题: PREPARATION OF OPTIC FILM WITH HIGH REFRACTIVE INDEX BY CHEMICAL METHODS , N2 Y- t T6 H5 U2 f
作者: 沈军 ; 张勤远 ; 杨天河 ; 王珏 ; 周斌 ; 邓忠生 ; 陈玲燕
) D5 ^$ {4 \, b: m9 O0 `8 F 作者单位: 同济大学玻耳固体物理研究所,上海,200092
- A$ I! X( Z1 n, {/ J+ D 刊名: 强激光与粒子束 ! t" U) T# @* q: F2 ~9 ^
英文刊名: HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS , U; T( U8 B' Q# M" d6 }. I6 I
年/卷/期: 1999 /11 /5
% g0 o' L" V. O7 o) b, h- `3 }. K 栏目名称: ICF与激光等离子体
' M/ m$ k' G& t 分类号: O484.1 ' T C+ g8 T% G4 H5 [" ]9 `' z8 B2 Y
关键词: 水热法 ; 溶胶 ; 高折射率 ; 薄膜
* Z% z9 z1 T; _2 D1 U 摘要: 报道了一种以ZrOCl2·8H2O为源,溶胶-凝胶法制备高激光负载高折射率薄膜的新方法.薄膜采用旋转镀膜法制备,对薄膜的结构、光学特性及激光损伤阈值进行了测量,有机粘接剂对薄膜折射率及机械强度的影响也作了探讨.以该薄膜与SiO2溶胶-凝胶膜交替涂覆制成的多层高反膜,剩余透过率仅0.98﹪,激光损伤阈值达16J/cm2(3ns). |
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