Mgf2点子问题!

黑子 · 发表于 2007-6-29 06:45:41

最近镀MGF2都会时不时的出现点子,该注意的都注意了,该做的都做了.就不知道为什么会时不时来点,但不是很严重!哪个高手能解释一下.帮帮忙吧!头疼呀!

ytmyvi · 发表于 2007-6-30 04:51:29

MGF2出點子,只有溅料........... 還有蒸發速率太大,把液態的膜料都蒸上去了吧!!!!!!!!!

黑子 · 发表于 2007-7-1 06:30:39

这些问题都注意了!但还是有,不是大面积的,是少数有一点点,少数有那么一点或2点!都不多呀!

comeless · 发表于 2007-7-2 01:55:54

就是，是什么原因啊，我也碰到这个问题了，但是我的膜层上面有很多点子。
电子枪光斑不圆会不会是一个原因呢？
怎样调电子枪使光斑变圆呢？

南国无豆 · 发表于 2007-7-17 07:06:40

电子枪光斑本来就是方形的啊，只是在扫描面积小的时候看起来象圆的而已

ytmyvi · 发表于 2007-7-18 00:57:12

電子槍的光斑可以通過,更換掃描線圈來,修正光斑,還有一種,就是調節燈絲高低,也能起到一定的做用(不過建議不要采用)

tfk-zbd · 发表于 2007-8-19 11:38:03

蒸发速度快,蒸发源过脏,史料放气后要将料冷却后镀膜就行.

wn_li · 发表于 2007-9-27 08:31:50

膜料熔料时最好从坩埚底部一层一层的熔起来，大概熔三到五次，控制蒸发速率不要太快，以不快速挖坑为准，光斑最好固定不动，如膜层较厚，中间应暂停再次扫过再继续蒸镀。另外最好的最彻底的办法就是用钼舟。

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