石英衬底上射频磁控反应溅射镀薄膜

dujinli · 发表于 2007-6-19 01:06:32

用射频磁控反应溅射在石英衬底上镀氮化硅薄膜，无论怎么清洗，如何改变工艺参数，但是就是镀不上薄膜，到底哪里出问题了？是清洗的原因么？？在线等答复，高手帮我啊

显示全部楼层 · 发表于 2007-6-19 01:12:36

一点也镀不上啊，挡板打开了吗？基底加温试试

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