一臺機4個蒸發點一個修正板均勻性怎么做!!!

ytmyvi · 发表于 2007-6-13 13:52:15

我這邊這臺阻蒸的機臺,昨天開始在改電子槍了,改好之后,阻蒸也要保留,增了兩個電子槍,一臺機一共就有4個蒸發點了.問題是:  在做兩個電子槍的時候肯定要對修正板進行修改,如果我改了原來的修正板那會不會影響到阻蒸的均勻性呢 ????
2 .  還有一個問題.這機臺只有一個修正板,是不是要兩個電子槍一起做,那就是說要做一個膜系了,一個膜系幾層最好呢...要不要先做tooling值.
3.  如果只做兩個電子槍會影響陰蒸,那就是說要4個蒸發點一起做了,那是不是也要做一個有4個蒸發點的膜系呀!!!!!,如果要做一般用什麼材料最好.....
謝各位前輩指點

xiaoji · 发表于 2007-6-13 18:37:15

你可以在汗几个啊

ytmyvi · 发表于 2007-6-13 20:41:20

那我的真空室里面就只有修正板了

csfoxgg · 发表于 2007-6-21 13:20:09

控制精度要求高的情况下，你必须多配修正板

gb5808 · 发表于 2007-6-22 01:50:26

1350机器，有两个修正板就够了。

黑子 · 发表于 2007-6-28 22:20:31

其实2个修正板就够
阻蒸的修正板可以考虑怎么处理掉
2个电子枪最好用2个修正板!~

whongliu · 发表于 2007-6-29 05:52:36

你可以用2个修正板就可以啊！一小一大，一个修阻蒸的，一个修电子枪的啊！但必须选好修正板的位置。

hhggiu · 发表于 2007-7-8 13:48:25

有电子枪还要阻蒸做什么，

cheng003 · 发表于 2007-8-11 02:31:24

最好用两个修正板。用一个可以试调一下修正板的高度

lb_allwishes · 发表于 2007-8-19 05:24:44

机器口径太大会不会折射率也不均匀阿？

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