关于沉积过程薄膜均匀性的讨论

gaoke · 发表于 2007-5-29 16:12:08

希望大家各抒己见，对你所了解的关于影响薄膜均匀性的因素发表看法，或者是有这方面研究的文章希望不吝上传！（我有的资料基本上都传在论坛上了）谢谢！

gaoke · 发表于 2007-5-30 17:42:09

为什么没人发表见解呢？

zsr · 发表于 2005-12-29 13:07:58

均匀性最大，，两个原因嘛，，磁场和布气。。。然后可能靶材质量有点关系

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