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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 用溅射机均匀性问题
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查看: 1683|回复: 1

[求助] 用溅射机均匀性问题

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liu
发表于 2007-5-29 07:46:24 | 显示全部楼层 |阅读模式
我现在用溅射机镀金属耙材,均匀性问题总是难调整,望那位大侠帮帮我
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发表于 2007-6-8 21:14:16 | 显示全部楼层
什么镀膜和工件材料？膜厚？要求均匀性多少？
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