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发表于 2007-6-2 11:59:14
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你是电子枪蒸发、磁控溅射还是电阻蒸发?另外离子源电压打到多少?
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/ d4 {/ q) T5 b, o( G4 _8 e, m一般来讲你的膜厚不大,因而镀膜速度不是问题,所以最好用磁控溅射,结合力好些。. D- p& f* a" R' z% J, D5 z7 B
: z: r- E* I ]/ z9 Y8 H另一个方面是塑料镀膜有不少人采用阳极层离子源,除了清洗外,还有活化表面的作用。但阳极层离子源电源较大。 |
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