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发表于 2007-5-14 23:19:36
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真空镀膜工艺与人体的关系并没有直接的报道。比如半导体行业成千上万人大部分从事镀膜相关工艺,没有直接证据有害人员身体。而且真空镀膜与传统电解槽电镀相比为绿色技术。) |0 d7 ^9 B6 X8 L: b
0 `! T7 S+ } Y! u' l* u. |) S如果镀膜机采用用等离子源或有偏压设备会有射频,但是一般都是接地调谐好了的,不必烧饭用微波炉或手机更危险。
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考虑到你是攻研究生,一般镀膜机功率小,也不会8小时连续站岗。所以不会有太多职业危险。
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* P0 [ B; Q, k7 T8 N* B, V关于安全几点建议,操作蒸发膜料或磁控靶时一般先了解材料特性,最好带手套和口罩。真空泵出口要有滤清器,如没有要注意出口排在室外。真空室禁明火,不要有吸烟人。若有氧气或氢气,尤其要小心操作,开机时流量一定要从小到大,千万不要一下调到很大流量。! [- F$ G1 c2 E7 h4 ?/ c _/ z
) L+ V6 D. v3 L: N% ]若有CVD工艺,各种中间气体一定要注意无泄漏和过大流量。 |
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