真空镀膜工艺与人体的关系并没有直接的报道。比如半导体行业成千上万人大部分从事镀膜相关工艺，没有直接证据有害人员身体。而且真空镀膜与传统电解槽电镀相比为绿色技术。 & n/ v& B- u. E/ x ~% d: B: t 7 Z# [- X. ]! h如果镀膜机采用用等离子源或有偏压设备会有射频，但是一般都是接地调谐好了的，不必烧饭用微波炉或手机更危险。 & ~1 t# j! T/ X q: [: H7 r+ q考虑到你是攻研究生，一般镀膜机功率小，也不会8小时连续站岗。所以不会有太多职业危险。0 h' f) B1 u' H
0 f1 X" o! \& G9 ?: ~关于安全几点建议，操作蒸发膜料或磁控靶时一般先了解材料特性，最好带手套和口罩。真空泵出口要有滤清器，如没有要注意出口排在室外。真空室禁明火，不要有吸烟人。若有氧气或氢气，尤其要小心操作，开机时流量一定要从小到大，千万不要一下调到很大流量。# S/ X1 I8 _* g. P# K
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若有CVD工艺，各种中间气体一定要注意无泄漏和过大流量。
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发表于 2007-5-9 15:58:39
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