一种 MEMS薄膜材料的力学性能测试方法丰

一种 MEMS薄膜材料的力学性能测试方法丰
) }- z9 T( E2 e9 A7 d/ J* q2 s李雪萍  ，丁桂甫 ，安藤妙子 ，式田光宏 ，佐藤一雄
1 P( B5 j: S  E* h  \(1．上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室
微米／纳米加工技术国家级重点实验室．上海 200030；
2．名古屋大学 微纳系统工程系．名古屋 日本)
摘 要：介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固
定，且与加载机构集成在基片上，从而可减少操作工作量，提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成 ，
硅类试件以干法蚀刻成型，金属类试件以电镀方法成型，其余加载机构以湿法刻蚀制成。试验表明：使用
此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验，获得多项力学性能参数，从而为MEMS器件设计
5 `6 W% r5 l. j0 J: I/ L和分析提供可靠的理论基础。
# L; [4 a: `1 ^# o2 v- O+ l" a关键词：微机电系统；力学性能；薄膜；拉伸试验