OZZS系列光学真空镀膜机

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OZZSQ1100全自动真空镀膜机系统配置及报价
该型号适合量产IR-CUT、AR、HR等光学膜。
一、真空室及管道系统
2 c, D, L: x8 @" D' [% t6 W      
' I) {& \8 C- X" e2 g1、真空室结构形式：箱式前开门结构；
2、真空室及管道材料：SUS304不锈钢
3、真空室内腔尺寸：φ1100mm×1400mm；
6 F, s; ]/ P, s! b! D! A* T% \# Z        ★注：我们把真空室的内腔高度由1100mm改为1400mm，极大地提高了蒸镀膜系的均匀性和离子源能量作用的均匀性，提高膜层的质量；法兰和壳体内壁的厚度设计，克服了由于压力的作用而引起的变形；
4、排气口高度远低于工件盘下边沿；
        ★注：排气口低使真空室排气时不会形成涡流，不会把真空室内沉积的膜料尘埃带到已清洁过的工件玻璃上，有利于提高工件的光洁度；
5、观察窗：三个观察窗，上部一个，下部左右侧各一个，下部两个观察窗有护目遮板；观察窗内部靠密封玻璃处可以安装方便拆卸的防污玻璃；
6、真空室及管道内壁均经过严格抛光处理；
        ★注：多数厂家的设备只是抛光了真空室内壁，而管道内壁并未抛光处理，这样容易使油污等附着其上，使设备在使用一段时间后由于污物的附着而引起的抽速下降；
; x) y* u5 O+ Q) i5 |% p! Y7、遮污板：采用不锈钢方便拆卸挂式结构；
; R% X7 F$ T4 _2 M) h. k7 b" X% M8、修正板机构：在排气口中间位置装有固定式高度可调的可倒修正板；
/ F4 X; L- H5 P" s9 p" ~5 v9、管道连接法兰采用活套法兰；整个管道共有5处采用不锈钢波纹管连接；
& w1 n# ]" _; Q★注：不锈钢波纹管方便了设备安装和检修，消除了前级泵产生的振动；
10、真空密封：有热源的地方采用氟橡胶，其他地方采用丁晴橡胶；
% A9 t+ v& n$ }0 F6 s        ★注：使用专业厂生产的专业真空橡胶密封圈，延长了密封圈的使用寿命，减小了密封圈在使用一段时间后由于受热老化等原因引起的真空漏率，使设备抽速在使用前后基本一样；
11、真空室内设有低压照明装置；
2 v6 g3 Q8 w, S3 Y: t, @12、真空室及管道的外壁采用耐磨、牢固的高级轿车漆
& f$ b+ F/ A4 [7 {; @' y二、工件旋转机构
" ^7 A' K/ z5 x1、工件转动机构采用上驱动方式，内三点悬挂方式，转动平稳可靠；
# `( Q& W8 J. P: T2、转速为3 ~ 30rpm无级变速，自动状态下转速可按照设定的高、低速自动调整运行，配有数显间接转速指示表；
5 b; ^! ^1 N( i       ★注：两种转速的设置和自动调整有利于高质量膜系的镀制；
3、夹具：按用户要求定制；

. ?& ^4 E0 N0 V4 P( R



: \1 d# n" Y$ @* g' D# U三、真空系统
1、机械泵：
    2x-70型旋片泵；
- j* Z4 G" q/ z) d9 [. @2、罗茨泵：
- r& J8 O+ v$ `% Q3 a    ZJB-300型罗茨泵
7 C6 U/ {1 X0 t1 v3、扩散泵：
7 T# s1 V4 D6 Y2 A   采用两台KT-500油扩散泵，带油温控制，有缺相检测保护；
★注：增加温控，可延长加热元件寿命，有效节省能源消耗，成本在数月内就可收回；当烘烤电路缺相或烘烤丝断丝时，该单元能及时作出判断，并把信号送PLC，PLC综合判断后作出报警、保护处理。
4、冷阱 ：采用两冷阱；
5、选项Polycold：方汇的CP-Ⅱi深冷排气装置，≤-120℃

6、真空测量：

$ h4 w- c# Q/ C  k5 j采用国产（正华）复合真空计，带通讯口，三点测量，两点在真空室侧面，一点在主泵和前级泵间；
6 Q; e1 l* g3 k" Q6 ]* W( y0 H6 N# a: q★注：三点测量较两点测量更能确保真空系统运行的安全性和可靠性，而这是整套设备安全可靠运行的基础；
4 a" I$ l. ]7 V3 @7、真空阀：设置有2套高阀、2套前置阀、1套低阀、1套旁通阀、1套慢充气阀、1套快充气阀，1套机放阀，采用组合式气动换向阀；气缸带关到位开关；真空微调阀；
          ★注：设置了防湍旁通阀和缓慢充气的慢放阀，消除了真空室沉积的膜料尘埃“飞扬”的缺点，有效减少镀膜缺陷；
4 u+ i  a4 V* E7 V8、挡板使用进口旋转气缸，每个气缸带2个位置开关；
# G/ ]  y, V7 V1 G: x& z& C9、真空参数
1）极限真空 ：5×10－4Pa；
2）恢复真空时间：从大气抽至工作真空4×10－3Pa时间小于15分钟；
四、水冷却系统
8 v; n8 `% }3 {/ S9 b4 W. [1、主进、出水管均采用不锈钢管；各分水管采用高压软管；
" l3 B; k- d' D! z: B2 D2、从总水管分出的各冷却水路的进出水口都装有不锈钢球阀，以便维修；
3、为保护关键部位能正常工作，在扩散泵、电子枪、晶控水路的出水口装有可以调整大小的水流开关进行水流监控；
* p; w9 j; H2 L5 x, Q- X4、接头用进口快速接头；
* |5 E0 |$ C0 P, _8 H: r5、冷却水参数：
      1）水质；工业软水；
6 L  s9 v$ V) ]2）水压：0.2 ~ 0.3MPa；
3）水量：≥120L/min；
4）水温：18℃ ~ 25℃；
- }7 ~6 G. ?5 ^五、气路系统
1、气管采用高压气管；
2、接头、三联体、压力表等采用进口元件；
3、气压：0.6 MPa；
六、充氧控制系统
      
0 s% `$ B# c6 |采用七星华创质量流量计控制系统，用于镀膜充氧，在真空室内用充气管引到电子枪坩锅附近；
% l8 \5 x4 p7 H/ ?七、电子束蒸发源
1、OEBG-103电子枪：（双枪头、双坩埚-1个为穴位埚-1个为环形埚、双扫描、双控制器、双灯丝变压器）
3 v  P3 x7 x% m1 i         
1）结构形式：枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，电子束运转轨迹为270°，束流0～1000mA，发射电流的稳定性小于±2%；
) J. q/ Y* O* A0 v( i2）X、Y扫描范围为±20mm，X、Y位移范围为±20mm
. O8 y) ^1 z! W& |0 L# k# y3）高压电极和扫描电极为陶瓷结构；
4）可以使用的真空度：7×10-2Pa以下；
+ V5 w/ W% p- ^# u5）功率：10kW；高压：－4kV ～ －10kV；
1 ~' H% f5 u( j* s输出稳定性：小于±2%；纹波：小于±5%；
/ b5 C  V( [, ]# Y  p& S$ l      6）坩埚驱动器：

0 X3 u3 {2 T1 ^2 ~, ~. p★注：坩埚驱动器：包含减速电机、减速齿轮、编码器、控制器等；整套系统定位准确，输入接口可接受BCD码方式的坩埚位号和一位“运行”命令，输出接口可输出到位的坩埚位号（BCD码）和一秒钟的到位信号；输入输出接口设计的非常方便和晶控器或PLC交换信息；
八、电阻蒸发源（选配）
1、功率：8kW，2对水冷式电极；
4 x$ Q, J0 z4 ]$ m" Y* E/ \. G2、单电源，2对电极靠气动元件自动切换；
! v) F4 E. U+ [% N8 V9 t/ l3、蒸发功率由晶控来自动控制，当然也可手动；
  A) H7 F1 h9 d九、离子源（选配）：
9 |6 |0 c) ]1 C3 j中科院空间中心（九章公司）的源（选配其他厂家时价格另计）
  
十、膜厚监控系统
美国maxktek公司MDC360C石英晶体监控仪，探头为单探头（可选配双探头或6探头，价格另计）；
  
十一、控制系统
; P- W) b% D9 z7 ^0 @0 r9 y- x7 @
& U8 Z: U$ G- F3 Y# U4 @: Q1 R1、控制方式：
7 @0 Z" e" M2 Y. i' v/ B+ Y9 R/ o采用触摸屏+工控电脑+ PLC+电气执行元件等组合成的全自动控制方式。即从排气到蒸镀结束整个过程靠设备的强大的自动功能自动完成；
2、整个工艺过程由电脑配合晶控完成
# {0 t* y/ z* _5 X$ G  u3、自动控制的主要内容：
+ H  s9 B) I- v6 j+ f4 u, N1）工件盘转动的高，低速由工控电脑自动控制（避免了手动控制的繁琐操作、遗漏镀膜时工件转动由低速到高速的转换）
2）充氧量的控制由工控电脑自动控制
+ x; U! Z$ M6 O# _- v   
3）蒸镀真空度可以在工控电脑上实时地设置
% y  O/ E3 a% v& u( I+ ]1 l4）坩埚的换位可以由晶控通过坩埚驱动器自动控制，到位信号及不能及时到位或及时停止的故障信号反馈给工控电脑
5）各个泵阀的控制由PLC来自动完成
$ m. m. M) U, _: \+ c- X! W6）电子枪的高压，灯丝电流的开关控制由工控电脑来自动控制，功率大小由晶控来自动控制；
* m0 |9 N0 c, j+ H% {* Z- Z7）灯丝的自动预热由工控电脑来控制
1 f" c" |" ^( X7 `% c# P2 ]8）扫描方式的调用由工控电脑来自动完成
) o7 p( P4 I' b4 L" ]5 @1 d9）所有的故障信号和保护信号由工控机和PLC共同处理并由PLC自动执行正确的动作
/ Q6 r6 x; J6 k: u4、控制特点：
7 k5 V8 X5 C5 K" Q1）人机界面为全中文触摸形式，另配有键盘和鼠标；

         ★注：对设备的操作人员要求不高，设备的操作易学、易用；
& F' ]$ D3 n! F" y% `8 E. w      2）强大的参数设置功能：
/ V. i; C4 N" l3 _8 j# P         
; K* e. Y' l* C★注：免除了早期设备只能在分离部件上设置参数的繁琐，例如工艺参数在晶控上的小键盘上设置时就非常繁琐；
3）完善的保护功能和自诊断功能，确保系统能安全可靠地运行；
, ~9 {5 c% b& J; y4）强大的数据信息存储功能（自带硬盘）：
      a．故障和时间信息能适时地显示并存储；
: c, }& F8 A. N7 C      b．蒸镀参数能够适时地存储；
% H! u6 x5 j- p: a6 {* E* T2 ~: j$ V5、机柜:
0 ~- F; x7 g7 R" o- I3 ~, e采用2个,一个为前后开门的主控柜；另外一个为19″的标准抽屉单元柜，。
$ v1 J* x( V, z1 ]; B6、总功电源：三相五线制220V/380V，50Hz,功率 45KW；
; ~: F" O5 B1 V! r/ f★注：整套控制系统拥有友好的操作简单的人机界面，强大的自动控制功能，可靠的进口电器控制元件，实现了任意一个认识汉字的人经过简单的培训，就能按照工艺人员设计的工艺，镀制出高质量的优质膜系，是目前市场上能够替代进口的最佳全自动镀膜设备；
0 O; c7 ~. q) l* |# |十二、 工期： 3个月
, j# g9 q5 G( \+ `" r6 q' h十三、 质量保证及售后服务：
1、随机易损件一套并附有装箱单；
4 e/ J) D9 b" f4 d2、提供整机详细的操作说明书和内部设备的说明书；
' ~7 h% n" f$ M+ W( i2 y3、免费为用户提供3天的技术培训；
, s! P4 ~0 h  z7 c4、整机验收在生产厂家初步验收，在用户安装地最终验收；
5、整机保修1年，在保修期内，免费提供因产品质量问题而损坏的零件和更换零件的维修服务；
+ N+ X0 W. q' ^, C7 \) @) O7 C6、用户需要维修时，我们在8小时内作出响应。

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设备实图

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日产电子枪

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日产电子枪

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请问你们是哪个厂家？还有没有其它类型的设备？
我需要能镀面积为500mm*500mm面积，能同时装3个不同靶材的真空物理镀膜设备
8 U  v$ m1 ?8 i/ c有相关资料请发Email给我：chbsword@tom.com

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OZZS系列光学真空镀膜机，哪里产的啊？