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[原创] OEBG-103A电子枪

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发表于 2007-4-13 23:31:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
电子枪主要技术指标:5 g3 ^3 P; E5 |

" b: ^% l0 s- g* ^4 U6 G& R
4 h. J6 i# I4 B  `% _$ a
! ^0 {9 }' K4 A0 y8 D1、 电子束偏转角:270°;
5 D) M$ Y* n; p$ H1 o, Y% a# Q- Q( V' s3 A

% I/ U0 s8 O% {& C$ }7 [& A; h
, l. }8 F, S) H3 u) O2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%;0 X+ q" }; ~; x* P
  j+ [7 o+ `0 M
9 A, @  \2 s# m2 A8 E( h: s% V
0 S# p+ M: [& r2 c# {$ E% ?% b6 O
3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%;
! S; D# c2 ?; w$ M5 W! s1 v& A, K! h' _& v& B4 o

1 V8 k( F2 v  V. C- X
# R+ v) u3 P' f. v' v: j1 l4、 最大输出功率:10KW;
8 f+ E1 N5 V1 ]6 Y+ ]: r: Q* [, h1 W5 n( @
5、 灯丝电压:8V2 ]0 G3 V6 A# S2 p' }. s8 ^) |. S

, N1 a' j; Z$ e7 Q& `; q- r; A6、 电子溯流变化率:±3%0 q8 w6 v  ~1 D) C- Z/ {+ i
7 i8 g3 S7 z$ l' }
7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa
' z# @8 s1 ~4 I; [  I- X* A, X6 y; {) U1 d, u
8、 XY位置移动: ±20mm% o! q3 a, Q$ |1 i7 v/ b

' a: |1 ?8 i/ B+ k" x9、 XY扫描宽度: ±20mm
: r" ^. W/ [, n# U7 [5 {) A' {+ S+ S. @* o* s7 ~" @8 k
10、X扫描频率:50Hz   Y扫描频率:500Hz              0 t7 w; A2 G# }# q# N9 T( |
" i7 K: |5 h( S- D
此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象

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 楼主| 发表于 2007-4-17 02:46:59 | 显示全部楼层
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