|
|
电子枪主要技术指标:' g" H1 D. C2 [
) f" z9 M9 A2 Q( s6 R9 t
/ Y- C, d j7 z. |$ K
0 V" S$ m+ U9 n) t
1、 电子束偏转角:270°;
1 E) N$ B4 l7 F' K9 S
; D6 D) X1 U5 h
) q6 ^& u7 G4 s2 E$ j
9 N/ ]4 y" C) @2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%;2 X/ g z0 B1 u3 }
9 n% S. H! Y. I s( U* n: Q% f
- \5 ~ N- A H' r5 V x. x
, M' x8 d/ R! ^: Z+ l* {* T( e8 X
3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%;
( {; ]$ |+ H$ B: S
8 ]7 A/ V" @- p) X/ V5 C* e
6 d! E5 U% H' p
! }& w' A4 _2 h Y5 r( P+ A6 P4、 最大输出功率:10KW;
- I- {" |0 f9 {; q9 W+ e6 A5 B7 r6 {6 Y! n7 V
5、 灯丝电压:8V; v: n' @0 [( G
' a( \) p/ |- P
6、 电子溯流变化率:±3%7 Y) n' x; a) N5 E t7 Y
/ `1 i! n2 w7 n2 {7 W7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa
% N5 [) u$ s& r1 F4 \: W- c6 P, k& u- o5 N" ?
8、 XY位置移动: ±20mm
) B7 H' N' ]7 s/ X. u/ w$ q: ~3 P! s7 B- e8 Q* F
9、 XY扫描宽度: ±20mm
/ u8 t- N, f* K" e5 J5 C4 c9 T6 A T) H/ T& g" Z! Y% |
10、X扫描频率:50Hz Y扫描频率:500Hz % r5 f- U7 S: `2 i' D+ r
3 _6 f) ~% E: C* l1 H
此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象 |
本帖子中包含更多资源
您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?注册
×
|