典型的薄膜生产工艺过程

xx_912 · 发表于 2007-4-2 01:49:21

典型的薄膜生产工艺过程
（宽带增透BBAR膜）
1.准备镀制元件装夹系统
2.清洁元件
3.清洁真空室，安放镀膜材料,准备镀膜监控系统
4.安放元件于真空室
5.启动设备，把真空抽至需要的真空度（<2 X 10-5
Torr.加热至200－300度
6.根据每层的设计镀膜
7.恢复真空，冷却
8.取出元件进行测量
9.检验和包装

tswcbyy · 发表于 2007-4-4 20:50:32

xiexie

sgq@19801221 · 发表于 2007-7-14 18:22:59

xujun456 · 发表于 2007-7-22 15:25:43

真的很简单，通用型但是实用性不够

catherine84 · 发表于 2007-8-15 13:24:22

不够实用~！！

zbx328 · 发表于 2007-10-3 15:23:02

太简单,能不能提供一套比较完整的工艺.大家都能了解学习!

ccc502 · 发表于 2007-11-22 17:24:54

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ren2010 · 发表于 2010-10-12 00:35:37

这个也太简单了吧

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