|
|
典型的薄膜生产工艺过程
4 Q7 e9 r8 k. f, A o" W（宽带增透BBAR膜）
9 C9 ~. X: N8 v8 e& l ~1.准备镀制元件装夹系统
& H% w1 D$ K# S$ V& q2.清洁元件( U$ ` e3 |1 P2 m- T
3.清洁真空室，安放镀膜材料,准备镀膜监控系统
x/ |3 R7 t) v5 b2 w4.安放元件于真空室& H! e4 b: P0 Z" a9 ?
5.启动设备，把真空抽至需要的真空度（<2 X 10-5
! P: m8 Y* p" O0 L% N4 b+ BTorr.加热至200－300度9 \7 F! [: A7 Q
6.根据每层的设计镀膜
! J9 c, U( \7 h; q- n7.恢复真空，冷却, @& w/ d$ t1 P6 e% g1 t' R; Q: {3 e
8.取出元件进行测量
9 }' K, J% N2 i2 R9 r | r( y1 H9.检验和包装 |
|
窥视卡
雷达卡
发表于 2007-4-2 01:49:21
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡
发表于 2007-4-4 20:50:32
发表于 2007-11-22 17:24:54