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典型的薄膜生产工艺过程/ {) a8 D9 a' K. y W. \
（宽带增透BBAR膜）# h" u4 C% Q- R( v
1.准备镀制元件装夹系统% ^' B6 N& i/ j, J6 V3 h* z* P
2.清洁元件
/ |) w8 o+ d+ U. S J0 g3.清洁真空室，安放镀膜材料,准备镀膜监控系统
% v" X& u4 z7 B9 [4.安放元件于真空室
2 n7 l0 Y7 W/ z5 g6 I) k5 m5.启动设备，把真空抽至需要的真空度（<2 X 10-5& s- n, Q, i- T1 {" J
Torr.加热至200－300度
3 C/ v @$ H* P- u6 r" O6.根据每层的设计镀膜. H* D2 s" g L& Q# b, d
7.恢复真空，冷却, [3 m/ _( V- V5 p
8.取出元件进行测量
; i) s/ r8 l( D9.检验和包装 |
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窥视卡
雷达卡
发表于 2007-4-2 09:49:21
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡
发表于 2007-4-5 04:50:32
发表于 2007-11-23 01:24:54
