基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统
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! a4 p7 E: O5 S【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年
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【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙; ' ~4 }1 Z; H/ z" Q' K4 ]" D; T! h5 U
【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
; K6 a) |; R% ~; a9 v$ A0 G2 V【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛 4 m$ G+ z+ ~$ O' A
【会议地点】 中国浙江金华
. X0 j- E; w3 _) w; I【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会 ! U/ T4 \# ^1 Y. H
【学会名称】 浙江省科学技术协会 ) ]' ?5 X; i2 q4 l: R6 \
【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米; + Y1 o- L+ W4 I; G+ g, X# Q( u
【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。
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发表于 2007-3-31 18:22:02
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