基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统$ s" z/ s! x/ E( }( r+ ~5 ?
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2 [* G& N. C+ m8 a3 }" r【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年
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【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙; 3 G8 E0 y. \: L- J u: R! X
【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
) ]; o$ x& l7 h【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛 / G% m& Y; T1 p1 E
【会议地点】 中国浙江金华 O! U! O7 E# k, N
【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会 $ i3 W; y8 C7 O: I, w
【学会名称】 浙江省科学技术协会
) i+ E6 H L: l. R【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米; 7 c+ z3 \8 x; u+ h6 R) K
【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。 3 r( \: q+ g8 y
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发表于 2007-3-31 18:22:02
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