基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统
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+ J3 M$ x5 b f! C0 ]: z7 S+ Z【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年
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【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙; " }# |$ P# x) a3 e1 s. n
【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
7 S! T3 { x8 B6 d* [【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛 ) Q. X4 z2 h. ^: I. q
【会议地点】 中国浙江金华 5 ` B+ H+ d) v+ u" _( z
【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会
$ p7 v6 `- S7 n7 ]- E【学会名称】 浙江省科学技术协会
7 {* r& E& l* A【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米;
5 ]7 C$ i' Y% P z【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。
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发表于 2007-3-31 18:22:02
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