基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统2 e2 d) A) B1 @# o3 k, s$ A Z3 p
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: H Z, b# L. F【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年 + ~/ B' @6 Y M+ i* F7 Q) _
3 Q! Z5 x4 S! A8 w0 t. F【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙;
1 x" |1 D2 G2 j【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
" B0 K% f2 w* Q$ v: k【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛 $ f& {2 L) {' z5 B
【会议地点】 中国浙江金华 Z; x" l! f5 Z
【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会 $ r4 a8 ^; N2 p, _
【学会名称】 浙江省科学技术协会 : }; h* o( F6 l- O- L! Q8 Y
【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米; * Y5 a* V C! f/ I: A
【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。
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发表于 2007-3-31 18:22:02
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