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基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统

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发表于 2007-3-31 18:22:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统( N$ x2 m7 i1 O' g* t

9 t/ A+ K* e* @: ^
* Q# N7 H. |5 F6 M0 M
1 I  u8 t) ^& F  U" `【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年
7 ]; l" N0 F. Y. f8 } ' V0 X, i& f- l0 `: E) w
【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙;
; u$ u0 _6 \9 n: ?2 d5 L' Q( w/ i【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; 0 t$ m8 n2 Y5 C) `8 I. I. R. |
【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛 % Z- e) t* q" y# t8 @+ I
【会议地点】 中国浙江金华 ' m1 F7 p# D2 h- x) ?/ H
【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会 * i' {* ^0 [  W" B3 `+ h/ s
【学会名称】 浙江省科学技术协会
3 g2 E$ B8 Z* Q- i. b0 ^/ U1 f【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米; ( B& q  Q- Y& p0 I5 h8 l
【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。 * C7 B9 a& K, {/ c5 E# @

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发表于 2007-6-26 23:11:48 | 显示全部楼层
谢谢楼主的奉献!
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179
发表于 2007-6-29 19:56:14 | 显示全部楼层
先下来看看先
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156
发表于 2007-12-25 19:05:34 | 显示全部楼层
顶,下来看看
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发表于 2008-9-23 20:46:57 | 显示全部楼层
我现在就在使用类似的方法测膜厚
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260
QQ
发表于 2009-2-1 15:02:30 | 显示全部楼层

ok

好贴顶起。厚道的行为,要看要顶。: M- [: ?- R* |2 y2 {8 a
-------
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22
发表于 2010-8-16 17:42:58 | 显示全部楼层

辛苦了!!

辛苦了!!# \; Z% n3 _3 a
辛苦了!!
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