基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统( N$ x2 m7 i1 O' g* t
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1 I u8 t) ^& F U" `【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年
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【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙;
; u$ u0 _6 \9 n: ?2 d5 L' Q( w/ i【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; 0 t$ m8 n2 Y5 C) `8 I. I. R. |
【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛 % Z- e) t* q" y# t8 @+ I
【会议地点】 中国浙江金华 ' m1 F7 p# D2 h- x) ?/ H
【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会 * i' {* ^0 [ W" B3 `+ h/ s
【学会名称】 浙江省科学技术协会
3 g2 E$ B8 Z* Q- i. b0 ^/ U1 f【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米; ( B& q Q- Y& p0 I5 h8 l
【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。 * C7 B9 a& K, {/ c5 E# @
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发表于 2007-3-31 18:22:02
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