基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统
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【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年
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【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙; 7 P# ~' C$ }2 l O7 F2 B4 J) I
【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
$ G& _. P9 |- S$ M& R. o* r【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛
; v+ Z" ]6 ?" w2 U2 d* w5 s【会议地点】 中国浙江金华
% J" z# b( _. I( _1 |6 S$ j) ]( e3 z5 m【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会 * J6 ?6 C4 ?% _/ ^% w' r2 n0 Y
【学会名称】 浙江省科学技术协会
, c4 a/ @2 r+ z【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米; 5 Z, N9 M$ p+ ~, q0 m9 N- s
【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。
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发表于 2007-3-31 18:22:02
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