基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统- O1 g2 q2 Y+ A1 I: o3 X5 ^" w
" y, w) E1 b8 a8 ]" a: G5 s# n7 \
; E, z1 _; ^* @5 O" ~! o; e. J2 E$ Y
" r0 S0 k* @5 I2 N0 F/ c【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年 ( x. _& l. [0 g5 r3 L+ B% H- T
" D: |% D! G4 B9 ]
【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙;
h) L# A0 T7 k【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; 4 t' H0 t: J( W/ r5 ?: x
【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛
! L9 m- R5 H* c) I. S: }【会议地点】 中国浙江金华
. y3 X0 ] B- L3 M9 f3 @【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会 ; u/ Z6 Q/ Q& ~( w- f8 d6 W+ s
【学会名称】 浙江省科学技术协会 & p9 ]9 U/ V% ?, l
【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米; 4 V6 h' c: Y( @% K' K( u
【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。 * h7 V3 N1 D+ i& U$ t
|
发表于 2007-3-31 18:22:02
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡
窥视卡
雷达卡
发表于 2007-6-26 23:11:48
