基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统
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【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年 + h. ^; J) Q6 A2 U0 e9 l
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【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙;
; j; s5 |0 I1 @ a0 B【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; " @8 m! A) s7 i- H
【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛 6 ]7 h }# ^7 @; u$ E
【会议地点】 中国浙江金华 5 m8 `" L8 t7 v# Q+ c0 D2 `; b$ `
【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会 $ N0 a0 L2 v3 H" n
【学会名称】 浙江省科学技术协会
5 v0 _, M% b1 j【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米;
. A; A# Y3 S1 L, g0 _/ {. Z' B7 z; H" A【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。
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发表于 2007-4-1 02:22:02
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