离子束溅射沉只干涉光学薄膜技术

离子束溅射沉只干涉光学薄膜技术
摘　要:离子束溅射技术是近些年发展起来的制备高质量光学薄膜的一种非常重要的方法，它具有其它制膜技术所无法比拟的优点。但是，国内外对这方面的的研究和介绍甚少，且鲜见报到，本文着重介绍了离子束溅射技术的发展、原理和特征以及应用前景。
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' W9 q  {) B; J, N( G/ h# P关键词:离子束溅射 光学薄膜 光腔衰荡 沉积