VEECO均匀性

bakgy · 发表于 2007-3-24 01:49:44

我所用的VEECO机每次镀完产品（65小时左右）后均匀性都会有0.1-0.2nm/mm的变化，请问各位大虾有没有好的解决办法

bakgy · 发表于 2007-4-3 23:37:35

这个论坛好冷啊，我的这个帖子发了10天了居然没有一个回复，大家讨论以下吗，我现在使用的工艺能够使30mm（R90-120）范围内的波长变化小于1nm，恐怕能够做到这个程度的也并不多吧！

315 · 发表于 2007-4-4 17:24:42

我真羡慕你能用veeco机。

bakgy · 发表于 2007-4-4 23:26:15

十分感谢二楼的兄弟（姐妹），我等了十多天了终于有回信了。

315 · 发表于 2007-4-5 15:17:21

我是路过,对你的问题爱莫能助.

jiayuch · 发表于 2007-4-15 20:59:45

哥们那个公司的？
溅射的均匀性本来就很好调的
再说只有30mm的范围
到你那种程度没什么奇怪的

bakgy · 发表于 2007-4-16 23:13:48

公司在上海，兄弟在哪？

jiayuch · 发表于 2007-4-17 16:12:54

上海光联的吗？

bakgy · 发表于 2007-4-18 02:47:52

上海可不止上海光联有VEECO机

hanlei5144 · 发表于 2007-5-11 14:56:32

我也是用veeco，也在上海，可以多探讨！QQ：184099262

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