VEECO均匀性

bakgy · 发表于 2007-3-24 09:49:44

我所用的VEECO机每次镀完产品（65小时左右）后均匀性都会有0.1-0.2nm/mm的变化，请问各位大虾有没有好的解决办法

bakgy · 发表于 2007-4-4 07:37:35

这个论坛好冷啊，我的这个帖子发了10天了居然没有一个回复，大家讨论以下吗，我现在使用的工艺能够使30mm（R90-120）范围内的波长变化小于1nm，恐怕能够做到这个程度的也并不多吧！

315 · 发表于 2007-4-5 01:24:42

我真羡慕你能用veeco机。

bakgy · 发表于 2007-4-5 07:26:15

十分感谢二楼的兄弟（姐妹），我等了十多天了终于有回信了。

315 · 发表于 2007-4-5 23:17:21

我是路过,对你的问题爱莫能助.

jiayuch · 发表于 2007-4-16 04:59:45

哥们那个公司的？
溅射的均匀性本来就很好调的
再说只有30mm的范围
到你那种程度没什么奇怪的

bakgy · 发表于 2007-4-17 07:13:48

公司在上海，兄弟在哪？

jiayuch · 发表于 2007-4-18 00:12:54

上海光联的吗？

bakgy · 发表于 2007-4-18 10:47:52

上海可不止上海光联有VEECO机

hanlei5144 · 发表于 2007-5-11 22:56:32

我也是用veeco，也在上海，可以多探讨！QQ：184099262

		自动登录	找回密码
密码			注册

[讨论] VEECO均匀性