几种金属氧化物分子溅射额

几种金属氧化物分子溅射额
氧化物特别是金属氧化物属于金属原子与氧原子、氧分子或过氧分子（Ｏｘ）的反应结合物，与合金中成分原子间构成的溶剂与溶质关系极为不同。金属原子与 Ｏｘ粒子的结合过程伴随有价电子的转移，属于有价键结合。合金中的原子结合主要为金属键结合。一般来说，金属氧化物分子的溅射额与形成该氧化物的金属原子不同。在离子能量较低的条件下，多数金属氧化物分子的溅射额低于金属原子；但在较高能量和较重的离子轰击下，某些金属氧化物分子的溅射额可能相对变高。表１?４中列出了几种金属氧化物分子的溅射额及氧化物分子与金属原子溅射额比，除了元素周期表中第２周期的金属和过渡金属外，其他金属原子与其形成的氧化物分子溅射额的比会发生反转，个别金属如钒（Ｖ）与氧化钒（Ｖ２Ｏ５）的溅射额比反转幅度很大，在１０ｋｅＶ 能量的 Ｋｒ＋离子束溅射的条件下，溅射额比由０?４５?０?５５反转为１２?７?２?３。　离子束溅射金属或过渡金属氧化物可以产生２类溅射粒子通量。一类是离子轰击未能打破金属氧化物分子的原子化学结合，产生溅射金属氧化物分子通量，元素周期表中第２周期的金属基本上都可以形成这类氧化物，如 Ｔｉ２Ｏ３、Ｖ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＦｅＯ、ＳｎＯ 及ＳｎＯ２等。此外，ⅣＢ族金属氧化物，如ＺｒＯ２和 ＨｆＯ２也属于此类氧化物。另一类是离子轰击可使金属氧化物分子部分或完全离解，溅射出 Ｏｘ（ｘ≥１）粒子、亚金属氧化物分子和金属原子，并表现出选择性 溅 射 特 征，如 ＮｉＯ、ＣｕＯ、ＴｉＯ２、Ｆｅ３Ｏ４、Ｃｏ３Ｏ４、ＷＯ２、ＣｄＯ、ＰｂＯ 和 ＰｂＯ２等皆属于这类氧化物。其显著特点是选择 Ｏｘ粒子为优先溅射成分。溅射金属氧化物因存在 Ｏｘ成分粒子的选择性溅射使过程变