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显微图像的光学薄膜缺陷密度统计 |
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[/free]显微图像的光学薄膜缺陷密度统计
薄膜表面缺陷密度统计是改进薄膜表面质量的重要依据。阐述了基于遗传算法的二维最大熵分割算法的原理及实现步骤。采用这种算法对薄膜缺陷图像进行分割,对分割后的图像进行了薄膜缺陷密度的测量。实验结果表明,这种方法对薄膜表面缺陷提取简单且易于测量,为分析缺陷原因提高薄膜质量起到重要的指导作用。 [free]
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