|
|
一种实用化的光控自动真空镀膜机4 u* O9 y# @' N# i9 j
2 L- ~; ?: k9 h y( u) J! T" m, B u: Y
【论文题名】 一种实用化的光控自动真空镀膜机 " l; G& v, g h }) q) v; x
【英文题名】 An applied optical monitored auromatic vacuum coater ; j* U- n( u8 h! ~# C
【作 者】 马孜 肖琦 姚德武 赵汝进 何长涛 2 H6 A; N! q+ k' T5 L `
【作者单位】 西南技术物理研究所,四川,成都,610041;西南科技大学信息工程学院,四川,绵阳,621002;四川大学电子信息学院,四川,成都,610064 3 P0 w! y7 v) g+ m* d* _% r
【刊 名】 光学仪器
# A# B. Q* @8 ^8 w \. w6 D【英文刊名】 OPTICAL INSTRUMENTS 5 c2 i- W; ]4 u
【年 卷 期】 2006 Vol.28 No.4
9 u7 y( P2 d- |【栏 目】 沉积技术与控制方法 ( H* H) |9 c- Y. F
【分 类 号】 O484.4 , _1 S7 M2 ~* e; x4 X# S. x
【关 键 词】 薄膜；镀膜机；光控 ) J% P" M5 v, z
【摘 要】 采用分布式控制(DCS)的方法,用小型可编程逻辑控制器(PLC)替代中型PLC,提出了镀膜真空的13个子过程概念,实现了基于国产部件的真空过程自动化.以国产光控为核心,采用组态软件和控制软件结合的方法,通过经典和现代滤波技术,实现了光控自动判停,采用监控信号变化率dR/dt来控制薄膜的蒸发束率,制作了相应的分光膜和宽带增透膜,在低成本前提下提高了光学薄膜监控的精度. |
本帖子中包含更多资源
您需要 登录 才可以下载或查看，没有账号？注册
×
|
窥视卡
雷达卡
发表于 2007-2-25 14:12:43
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡
发表于 2007-3-5 15:49:13
发表于 2007-3-24 19:31:04