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一种实用化的光控自动真空镀膜机' U; ~2 W7 o' |7 w. x9 b
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【论文题名】 一种实用化的光控自动真空镀膜机
; F2 u+ S/ N0 G# P" I【英文题名】 An applied optical monitored auromatic vacuum coater - t2 n1 l: t: ?0 H, K) }) e- d* W
【作 者】 马孜 肖琦 姚德武 赵汝进 何长涛 4 n! h* x8 C& X& W; g
【作者单位】 西南技术物理研究所,四川,成都,610041;西南科技大学信息工程学院,四川,绵阳,621002;四川大学电子信息学院,四川,成都,610064 ( q5 o; K0 S7 Q- o' ?; w9 k
【刊 名】 光学仪器
. r% X1 K# N, H1 i1 B【英文刊名】 OPTICAL INSTRUMENTS ! C4 S6 U/ ]* t
【年 卷 期】 2006 Vol.28 No.4
+ P0 t1 F% P5 j' L0 H( m r, {【栏 目】 沉积技术与控制方法 9 A% l8 \1 p1 A
【分 类 号】 O484.4 # _; v7 M* H+ l
【关 键 词】 薄膜；镀膜机；光控
! e. o4 h# L" y: F" r【摘 要】 采用分布式控制(DCS)的方法,用小型可编程逻辑控制器(PLC)替代中型PLC,提出了镀膜真空的13个子过程概念,实现了基于国产部件的真空过程自动化.以国产光控为核心,采用组态软件和控制软件结合的方法,通过经典和现代滤波技术,实现了光控自动判停,采用监控信号变化率dR/dt来控制薄膜的蒸发束率,制作了相应的分光膜和宽带增透膜,在低成本前提下提高了光学薄膜监控的精度. |
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发表于 2007-2-25 14:12:43
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发表于 2007-3-5 15:49:13
发表于 2007-3-24 19:31:04