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一种实用化的光控自动真空镀膜机
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【论文题名】 一种实用化的光控自动真空镀膜机 % [" R& d/ U5 S: n( f8 S; P* x
【英文题名】 An applied optical monitored auromatic vacuum coater % T& R, T* W$ {2 l/ Q
【作 者】 马孜 肖琦 姚德武 赵汝进 何长涛
& ^; m- D8 d& h) D【作者单位】 西南技术物理研究所,四川,成都,610041;西南科技大学信息工程学院,四川,绵阳,621002;四川大学电子信息学院,四川,成都,610064
1 a0 L; R7 k- b( K6 t【刊 名】 光学仪器 ) @3 j3 s9 A7 \0 x# O# y$ M
【英文刊名】 OPTICAL INSTRUMENTS # \8 @' {8 w& _
【年 卷 期】 2006 Vol.28 No.4 ' @% R( Q4 s0 d7 k( M+ R
【栏 目】 沉积技术与控制方法 9 F8 |% z8 }: s; u, Q" W
【分 类 号】 O484.4 0 J0 |9 P5 U4 n, r/ z
【关 键 词】 薄膜；镀膜机；光控
. D- X" K* M% Q. V# i3 N【摘 要】 采用分布式控制(DCS)的方法,用小型可编程逻辑控制器(PLC)替代中型PLC,提出了镀膜真空的13个子过程概念,实现了基于国产部件的真空过程自动化.以国产光控为核心,采用组态软件和控制软件结合的方法,通过经典和现代滤波技术,实现了光控自动判停,采用监控信号变化率dR/dt来控制薄膜的蒸发束率,制作了相应的分光膜和宽带增透膜,在低成本前提下提高了光学薄膜监控的精度. |
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发表于 2007-2-25 22:12:43
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发表于 2007-3-5 23:49:13
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