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各位大虾,* V" _) j/ ~9 m2 G- I& P
5 V6 ^0 R& @/ ~4 k* I" p8 E2 K我现在用蒸镀机是Kronos的QM-311 thickness monitor,镀的MgF,但是同一条件下镀出来厚度极不稳定,monitor 上0.8kA,实际厚度可能是36uinch,12uinch....请问一下这种不稳定的情况是什么原因造成的,是否和晶振类型有关?我用的是gold type的晶振,需不需要用alloy type的呢?% {+ s0 b+ A* j( r) ?1 g
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* a' B: |# N Y. r2 c: I谢谢! |
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