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各位大虾,/ o* F' t! Z; o1 L/ d0 r
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我现在用蒸镀机是Kronos的QM-311 thickness monitor,镀的MgF,但是同一条件下镀出来厚度极不稳定,monitor 上0.8kA,实际厚度可能是36uinch,12uinch....请问一下这种不稳定的情况是什么原因造成的,是否和晶振类型有关?我用的是gold type的晶振,需不需要用alloy type的呢?8 j- P4 I; Y8 i: i; p3 F4 B
. ]8 U: N* x6 T. ^紧急!; K. \& w1 u2 A* U
$ q% T6 B+ z, W+ r1 B# m1 W2 W
谢谢! |
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发表于 2007-2-9 21:37:29
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