椭偏光度法研究溶胶-凝胶SiO_2薄膜的光学性能

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椭偏光度法研究溶胶-凝胶SiO_2薄膜的光学性能
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【作者】  肖轶群. 沈军. 周斌. 吴广明. 徐超. 薛辉.  
【刊名】   原子能科学技术    2005年06期    编辑部Email  
% U5 Y+ y+ n! J7 q$ w 《中文核心期刊要目总览》来源期刊   ASPT来源刊   CJFD收录期刊  
【机构】  同济大学波耳固体物理研究所. 同济大学波耳固体物理研究所 上海200092 .  
【关键词】   溶胶-凝胶工艺. 椭圆偏振光谱仪. 光学常数. 微结构.  
【聚类检索】  同类文献   引用文献   被引用文献   
2 Y8 }8 T* h  R* D" M2 Z【摘要】  用溶胶-凝胶工艺在碱性、酸性催化条件下制备具有纳米多孔结构的SiO2薄膜。用反射式椭圆偏振光谱仪测试薄膜的椭偏参数,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,获得了溶胶-凝胶SiO2薄膜光学常数在300~700 nm波段的色散关系。用场发射扫描电子显微镜FE-SEM研究了薄膜表面微结构,并讨论表面微结构与光学性能间的关系。结果表明:制备条件所引起的薄膜微结构差异对光学常数的色散关系变化趋势无影响;薄膜光学常数的大小则与微结构有关,折射率大小与薄膜孔洞率成反比。

yiyi2005

谢谢楼主