问题：用晶振片测膜厚

zxp791 · 发表于 2007-1-11 21:48:29

最近在镀膜机上新装了一台晶振测膜仪，Inficon 074-186S XTM2 OM。总共用了2次，出现同样的问题，在开始镀膜的1分钟内，运作正常，显示屏显示镀膜的速率和膜厚，但不超过1分钟，显示屏上就会出现晶振片错误的信息（crystall fail），同时真空室中晶振片的盖子通过气动自动盖上。如果我再从新启动一下膜厚仪，又可以工作，大概也还是1分钟左右的时间，又会出现象上面同样的错误，真的不知道问题出在哪里？？？
还有1个就是Z系数的值，因为我镀的是Cr膜，跟着膜厚仪过来的使用说明书里附的表格说对于镀Cr设定的Z-Ratio值是0，305。但我上次从一个论坛里看到一位大侠说一般镀单层膜在膜厚不超过1000nm时，Z-Ratio设置为1。我也不知道哪个对。
写的比较罗嗦，呵呵。
急盼解答，先谢过！！！

ali · 发表于 2007-2-9 09:38:56

先检查一下晶片的接触部位是否清洁，接触良好，再换一种晶片试一下。

吴海明 · 发表于 2007-4-3 22:45:46

以前我们也出现过这样的问题,由于晶振探头里面的一圈弹簧松脱,而造成接触不良. 检查一下冷却水的温度.

我想流浪 · 发表于 2007-4-9 10:49:26

同意他们的看法！你也可以换别的类型的晶片试试看是否出现同样问题？

kuan · 发表于 2007-4-12 00:15:27

1) 更换震荡片片
2) 检查冷却水温度
3) 检查弹簧接触是正常
4) 至于Z-ration, 是膜厚要达到某依程度时(um级以上)才需要的修正系数

jiayuch · 发表于 2007-4-18 10:01:37

在什么情况下要重新调tooling值？

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