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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 关于膜的结合力
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查看: 2161|回复: 1

[求助] 关于膜的结合力

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easim
发表于 2007-1-1 00:51:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近我在镀Ti/CaO/Ti/CaO/Ti/CaO/Ti/CaO/Ti/CaO/Ti的多层复合膜5nm左右后,膜的结合力差,怎么提高?
9 t7 ]8 D6 H  a' g: K: Q! l$ o蒸镀方法
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发表于 2007-1-19 05:38:56 | 显示全部楼层
不知你采用的基底是什么材料？采用何种热处理？还有蒸镀的参数能否再进一步优化？
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