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发表于 2007-3-24 22:19:41
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上面5LAYERS是很難優到的,我帶進去膜厚也優不到(寬度不夠= =),要六層的有,如下
& r+ E' J( p& @: [8 xAL2O3-1 197.77 nm ( o, q4 H' @- H# M( ]4 R' J: T
MGF2 62.38 nm 7 d2 k) O: j" V E
ZRO2 23.35 nm
2 f$ v; T7 J" j, w& D# i# g& L8 aMGF2 52.35 nm
5 ?+ x* K: S4 @! p8 N7 AZRO2 154.44 nm
6 O' N+ y" Q% }' YMGF2 107.04 nm / Q" w9 Y# O/ A0 H& U6 A
9 n `6 @- l- \& Cal2o3 折設率1.67左右$ _8 z+ y4 ?, p+ s% c
zro2 折設率2.0左右
6 }3 j& y) L# b0 l9 _' J* Kmgf2 折設率1.38左右 |
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