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发表于 2007-3-25 06:19:41
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上面5LAYERS是很難優到的,我帶進去膜厚也優不到(寬度不夠= =),要六層的有,如下
" _3 \8 U4 k' w3 R2 UAL2O3-1 197.77 nm " A4 y) `3 h* i# k: m
MGF2 62.38 nm 2 t. B& v) ^5 B- P* n+ `" m& c# R
ZRO2 23.35 nm 6 G# V8 r r9 {. m! D9 k
MGF2 52.35 nm
& s3 |/ {8 w# A5 R2 \' J1 K7 k! }9 G2 _ZRO2 154.44 nm
# p/ v/ i: f7 u$ g5 pMGF2 107.04 nm % D$ Z1 `) b* i. J2 k3 W1 h
+ A& w5 h( l v
al2o3 折設率1.67左右3 F1 _! a$ {8 c" C9 B9 T
zro2 折設率2.0左右
6 x9 b. v# e( A0 ]8 u2 g0 Lmgf2 折設率1.38左右 |
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