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高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品) x$ G7 ~7 L5 J9 d0 m
可测参数:7 o; {6 J, W( Q7 a; A! W
1)单层或多层薄膜(可达50层),厚度 (<1Å to 250 um). R; |6 n7 d8 Y0 t+ t6 o; M
2)反射率R和透射率T
9 x8 t3 g* G$ a; k3)折射率n和吸收系数k
- \0 g9 z& d* a4)能带间隙
4 W$ ]( Q% K+ Z5)表面粗糙度和损伤度$ ? r/ a" n( e8 `8 t3 B* B
6)成份和结晶程度# J# n8 a% d. u! D" m$ Z
适用于高精度的薄膜量测,广泛应用于OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等。 |
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