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高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品- }2 ]) m5 T' l, k; ]! f# C: F, c% @
可测参数:
+ n$ n9 C$ W8 A8 y1)单层或多层薄膜(可达50层),厚度 (<1Å to 250 um)
9 G0 x$ v$ r/ w7 H) y) Q2)反射率R和透射率T
# Y# V( p: `/ I( p3)折射率n和吸收系数k0 F$ ]8 f& `0 w. ?1 O
4)能带间隙7 o& `# C+ _8 H% o
5)表面粗糙度和损伤度
7 D5 A9 h! m0 e6)成份和结晶程度7 C8 A R; O* Z. z& w) _" B8 G8 J* z
适用于高精度的薄膜量测,广泛应用于OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等。 |
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