高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品

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高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品
可测参数：
* }* s, g6 @8 x1）单层或多层薄膜(可达50层)，厚度 （<1Å to 250 um)
2）反射率R和透射率T
' [/ S/ a; J7 C% D4 J  I3）折射率n和吸收系数k
7 c3 O/ d. A- q: |/ G+ m! b8 x4）能带间隙
5）表面粗糙度和损伤度
0 D0 }3 v; ]) H" C, o* r9 m9 ^+ ?6）成份和结晶程度
7 Y; i9 y' P( U( H适用于高精度的薄膜量测，广泛应用于OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等。