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WDM 用微镜片分光膜的镀制2 S* v9 J6 H1 G2 z6 n6 P
朱 瑾, 黄 伟, 张云洞
5 x+ }) x- F8 q1 O! O7 X( [5 u" g(中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209), h8 | p h7 S7 C
摘要:主要介绍了光纤波分复用(WDM)中用的分光膜的批量镀制工艺。在大量实验基础上,对
' M, i2 V1 j% y1 v: ^' a% b# p比不同膜系及膜料的选择,重点介绍了工艺流程中的镀制、监控、检测等主要环节。制备的微镜
% X! @8 H" {9 Q9 E6 S片性能稳定,已经完全达到用户的需求。
8 @& z K; l" ^4 S+ L# W关键词:分光膜; 镀膜技术;波分复用; 微镜片 |
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