WDM 用微镜片分光膜的镀制

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WDM 用微镜片分光膜的镀制
0 X+ H3 w" `/ ~. Q* W朱 瑾, 黄 伟, 张云洞
(中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209)
* B) v* c6 q. |: B# b摘要：主要介绍了光纤波分复用（WDM）中用的分光膜的批量镀制工艺。在大量实验基础上，对
比不同膜系及膜料的选择，重点介绍了工艺流程中的镀制、监控、检测等主要环节。制备的微镜
片性能稳定,已经完全达到用户的需求。
7 c6 m, n. J0 |3 p7 B关键词：分光膜; 镀膜技术；波分复用; 微镜片

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