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[讨论] 请大家谈谈如何解决HfO2薄膜的点子问题

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375
发表于 2006-11-21 07:23:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近工作中用到HfO2膜料,但薄膜表面点子较为严重,请用过此材料的朋友谈谈使用经验,大家相互探讨一下

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590
发表于 2006-12-3 01:13:05 | 显示全部楼层
也遇到类似问题,同样等待回复
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发表于 2007-2-14 17:58:36 | 显示全部楼层
蒸发速率要低
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448
发表于 2007-5-16 18:07:40 | 显示全部楼层
镀膜前将HFO2预熔,用较大的束流将HFO2表面打化,使其粘连在一起.一般熔过后的HFO2表面发黑.没有关系
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